電子産業PSA窒素発電機
A PSA Nitrogen Generator (Pressure Swing Adsorption nitrogen generator) is a specialized industrial device that leverages PSA technology to separate nitrogen from ambient air using carbon molecular sieve (CMS) selective adsorption半導体製造,PCB溶接,電子機器の製造など,電子機器産業のアプリケーションのために特化した超高純度窒素を供給します.電子部品のパッケージング99.9995%までの窒素純度レベルを達成でき,従来の液体窒素の代替として安定した動作と費用対効果の高い現場供給を提供します.
基本技術パラメータ
| 酸素出力 (Nm3/h) |
純度 (%) |
計器用空気消費量 (m3/h) |
水の消費量 (m3/h) |
電力消費量 (KW) |
総電源 (KW) |
ベッドレイヤータイプ |
面積 (M3) |
| 50 | 90 | 10 | 3 | 32.5 | 40 | 垂直 | 6 × 9 |
| 150 | 90 ~ 93 | 20 | 15 | 65 | 85 | 垂直 | 9 × 9 |
| 200 | 90 ~ 93 | 25 | 15 | 86 | 110 | 垂直 | 9 × 9 |
| 300 | 90 ~ 93 | 30 | 30 | 132 | 155 | 垂直 | 14 × 12 |
| 400 | 90 ~ 93 | 40 | 30 | 172 | 205 | 垂直 | 15 × 14 |
| 600 | 90 ~ 93 | 50 | 45 | 258 | 320 | 垂直 | 12 × 18 |
| 800 | 90 ~ 93 | 60 | 50 | 344 | 410 | 垂直 | 15 × 18 |
| 1000 | 90 ~ 93 | 65 | 60 | 436 | 550 | 垂直 | 16 × 18 |
| 1500 | 90 ~ 93 | 90 | 90 | 675 | 845 | 垂直または水平 | 18 × 18 |
| 2000 | 90 ~ 93 | 100 | 150 | 900 | 1060 | 垂直または水平 | 18 × 24 |
電子産業向けカスタマイズ
この工場でカスタマイズされた窒素ガス製造工場は,電子機器産業の要求のために特別に設計されています. 異なる生産プロセスには,異なる窒素純度,流量,圧力パラメータ半導体ウエファー製造では,高純度99.999%のN2発電機構成は,エッチングと堆積プロセス中に惰性大気を供給します.中流システムでは波溶接とリフロー溶接の慣性化が十分ですマイクロ電子部品の製造の超清潔な要件を満たすために,追加の浄化モジュールが統合できます.
高純度窒素の用途
高純度窒素は電子機器の製造において 生産品質を確保するために不可欠です窒素は処理室を浄化し,水分と酸素を移動し,結晶の欠陥を引き起こす可能性がありますLEDチップの生産では,エピタキシアル成長のためのキャリアガスとして機能し,均質なフィルム堆積を保証します.リチウムイオン電池の製造では,窒素イネルティングは,電極のコーティングとセル組立中に熱脱出を防ぐエレクトロニクス級のPSA窒素発電機には,高級電子製品のためのSEMI基準を満たす,微粒,水分,および炭化水素を除去するための厳格な空気浄化手順が含まれています.
安全とクリーンルームの互換性
電子クリーンルーム環境のために設計されたPSA窒素発電機は,最小限のフットプリントとクリーンルーム互換性のためのモジュール式設計を特徴としています.油のない圧縮機と食品級密封材料は,窒素に油汚染物質が含まれないことを保証します厳格な防火規制のある施設では,炎に耐える電気部品と圧力緩和装置を備えた爆発防止型が利用可能である.PLCインテリジェント制御システムには,過剰圧力アラームなどの複数の安全保護機能が含まれます.純度偏差アラーム 欠陥自己診断
プロフェッショナル メーカー 選択
電子機器産業の専門知識を持つ経験豊富なPSA窒素プラントメーカーを選択することは,機器の品質とサービスにとって重要です.主要な選択基準には,コアコンポーネントの品質,テクニカルチーム施設内設置,稼働,24時間/24時間の技術支援を含む包括的な販売後サポートプロの製造者は,機器の寿命を延長し,保守コストを削減するために,長期間のメンテナンス計画とCMS再生サービスを提供します..