Japanese
顧客背景
半導体用光抵抗剤と電子特種ガスの製造を専門とする.オゾン酸化浄化プロセス工場では高純度酸素 (≥99.2%) を安定的に供給する必要があります.設備は,韓国の工業ガス安全基準と,半導体産業の無塵生産要件に適合しなければならない..
痛みの核心
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原始液体酸素供給モードは輸送損失 (約5%) を有し,国際液体酸素価格の変動の影響が大きく,供給安定が不十分である.;
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半導体材料の生産には,酸素清潔度について非常に高い要求があり,粒子濃度 ≤0.1μmを制御し,油による汚染を排除する必要があります.
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工場のスペースは限られており,コンパクトな設備設計が必要で,韓国の厳しい環境排放基準を満たしている.
解決策
GNEEは800Nm3/hの高純度VPSA酸素システムを1セット提供し,"油のないプロセス + 多段階浄化":
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輸入された無油空気圧縮機が3段階フィルター (精密フィルタ +活性炭吸収 +高効率の油除去) と組み合わせて選択されます.酸素の粒子の含有量が0未満であることを確保する.05μm,油分量は ≤ 0.001mg/m3である.
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高効率のリチウムベースの分子シートとダブルタワー吸着構造が採用され,吸着-脱吸サイクルを最適化することで,酸素純度が99.3%~99で安定的に維持されます..5%
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設備はモジュール式統合設計で,床面積は従来の設備より40%小さく,工場のスペース要求を満たしています.
応用効果
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安定した供給: "需要に応じて生産し,即時使用"の現場酸素生産モードが実現され,液体酸素供給を完全に置き換えています.年間輸送損失コストは300%以上削減されます酸素純度変動が ≤ 0.1% で,
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プロセスの改善:高純度酸素は光抵抗浄化効率を15%増加させ,製品出力は96.2%から98.5%に上昇します.サムスン・エレクトロニクスのサプライチェーン認証を取得;
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準拠と省エネ: 設備は,関連する認証を通過しており,廃棄ガス排出量は,韓国環境保護基準を下回っています.単位の酸素消費電力は0です.35kW·h/m3で,韓国国内の設備よりも8%低くなっています.
VPSA酸素発電機に加えて,私たちはまた,PSA酸素発電機,貯蔵タンク,熱交換機,および他の製品を作ります.メールを送信してくださいinfo@gneeheatex.com について私たちは喜んでお仕えします.
